螺杆真空泵与爪式真空泵同为干式真空泵，但由于各自的工作原理不同，也造成了各自结构上的差异，为获得尽量低的压力，两种泵都做成4级，但爪式泵级与级之间通过隔板分隔，而螺杆真空泵则是通过螺杆的交叉形成级间分隔的；干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子半导体制药精密加工等行业首选真空获得设备，日本在...